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爱德华涡轮分子泵
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信息编号:
38144
发布地区:
北京市
所属栏目:
爱德华真空泵
发布日期:
2009/3/28 10:11:56
来源 I P:
用户信息
发布用户:[王嘉升]
联系电话:010-51090091 查询
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型号 : EXT75DX,EXT556H 
品牌 : Edwards,英国爱德华 
简介 : EXT 涡轮分子泵提供可靠的超高真空 
Edwards EXT 涡轮分子泵和复合分子泵提供可靠的、无碳氢化合物的高真空和超高真空。EXT 使用多级轴流式涡轮机以及磁性陶瓷轴承,可为高临界前级线路压力制程提供无油、无振动的操作,同时将维护需求降至最低。 产品介绍 概述
EXT75DX /EXT556H复合涡轮分子泵将经实践证明的陶瓷机械下轴承、干式永磁上轴承和Holweck 分级技术与带来额外便利性的板上24V 控制器结合在了一起,不需要TIC 控制器即可兼容并行和串行通信。

 

功能和优势
高临界前级压力 
大容量流速 
快速抽气性能 
多级 Holweck 分子牵引机制为轻气体提供了高压缩量 
极限真空 <10-10 mbar 
经验证的 EXT 性能和可靠性 
混合轴承配置 
免维护 – 储油器永久密封 
机加工整体转子 
直流电机驱动 
技术参数

 

 

 
 EXT75DX
 EXT556H
 
入口法兰
 DN63ISO-K、DN63CF、DN40NW 或 DN100ISO-K
 DN160ISO-K/DN160CF
 
抽速(l/s)
  
  
 
  N2 
 61
 540
 
  He 
 57
 580
 
  H2 
 53 
 500
 
压缩比
  
  
 
  N2
 >1 × 1011
 >1 × 1010
 
  He
 1 x 106
 1 x 108
 
  H2
 5 x 104
 5 x 106
 
极限压力 (mbar)
  
 <10-10 
 
带有 RV 前级泵 ISO/CF
 <5 x 10-9 / 5 x 10-10
  
 
带有隔膜前级泵 ISO/CF
 <5 x 10-8 / 5 x 10-9
  
 
推荐前级泵*
 RV5/nXDS5i
 RV12/nXDS10i
 
水冷却(15 °C 水,40 °C 环境温度)
 2 × 10-2 mbar
 2 x 10-3 mbar
 
强制空气冷却,35°C 环境温度
 1 × 10-2 mbar
 5 x 10-4 mbar
 
标称旋转速度
 90000 rpm
 50000 rpm
 
到 90% 速度的启动时间
 110 s ‡
 6.5min
 
冷却方法#
 强制空气/水
 强制空气/水
 
强制空气冷却的环境空气温度
 5 - 35 °C
 0 °C - 35 °C
 
最小冷却水流速(15 °C 的水)
 15 l h-1
 15 l h-1
 
水温范围
 10 - 20 °C
 10 - 20 °C
 
最高入口法兰温度
 100 °C
 80 °C
 
操作姿态
 垂直且竖直,直到
 垂直且竖直,
 
水平
 直到水平
 
1 米处的噪音级别
 <50 dB(A)
 <60 dB(A)
 
推荐控制器
 TIC100 分子泵和仪器控制器
 EXC300
 
静止电功率
 10 W
 35 W
 

 

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